MEMS与智能微系统研究所

一、团队介绍

澳门太阳游戏城appMEMS与智能微系统研究所（以下简称i2MEMS团队）的前身是澳门太阳游戏城app信息与电子学院微电子所与微纳电子中心，并不断吸收新的科研力量，于2020年重新整合多方资源成立，经过两年多的建设，科研队伍不断壮大，已成长为一个多学科交叉融合、各方向优势互补的科研团队。i2MEMS团队隶属于北京市一级重点学科“电子科学与技术”下属的“MEMS与集成微系统”二级学科建设单位，致力于研究MEMS微纳传感器与执行器芯片设计与制造和微流控技术，培养MEMS与集成微系统方向的高级专业人才，推动集成电路及相关学科发展。团队现有3位教授，2位副教授，2位助理教授，1位讲师，博士研究生24名，硕士研究生50名。

• 谢会开 教授

教授，澳门太阳游戏城app重庆微电子研究院院长、首席科学家，集成声光电微纳系统教育部工程研究中心主任，澳门太阳游戏城appMEMS与智能微系统研究所所长，IEEE Fellow，SPIE Fellow，兼任IEEE Sensors Letters、Sensors & Actuators A等国际期刊副主编，同时担任IEEE Optical MEMS、IEEE Sensors、SPIE Photonics West、SPIE OTA等国际会议的共主席及程序/执行委员会委员，科技部重点研发项目首席、指南编纂专家，国家级重大项目首席，国家级高层次人才。博士毕业于卡内基梅隆大学，回国前在美国佛罗里达大学任教授18年，主要从事MEMS、三维集成、生物光子学、光学内窥显微成像等领域的研究，发表科技论文350余篇，授权美国专利19 项，授权中国发明专利50余项。

• 张帅龙 教授

教授，博士，博士生导师，国家级高层次青年人才，集成声光电微纳系统教育部工程研究中心副主任，澳门太阳游戏城appMEMS与智能微系统研究所执行所长、科技部重点研发项目负责人。11年海外留学工作经历，主要从事生物微纳操作系统、光电镊技术、微流控技术、BioMEMS、微全分析系统研究。担任中国工程院院刊Engineering青年编委、国际期刊Micromachines客座编辑、Frontiers for Robotics and AI 的副编辑，担任生化分析类顶级国际会议MicroTas的技术委员会委员。现发表80余篇学术论文，含 PNAS、 Nature Communications 、 Science Advances、Chemical Society Reviews等一流期刊论文，出版英文专著2部，他引2400余次，H-index为23；在MicroTas、SPIE Photonics West等顶级国际会议上做主旨报告/特邀报告12次，口头报告7次，授权并转化美国专利1项，申请中国发明专利10项，参与多个企业的孵化和成果转化。

• 曹慧亮 教授

教授，博士，博士生/硕士生导师，被选为特立青年学者、山西省优秀青年学术带头人、三晋英才、入选2022年全球前2%顶尖科学家榜单。围绕微惯性器件及极端测试相关研究，获得科技部重点研发计划项目、国家自然基金重点联合项目等多个国家级项目支持，经费合计1000余万元。发表高水平论文70余篇，他引1000余次，其中包括ESI高被引论文5篇，H-index为20；授权国家发明专利20余项。

• 逯遥 预聘副教授

博士，博士生/硕士生导师，太阳成集团tyc4633预聘副教授，集成声光电微纳系统教育部工程研究中心副主任，5年海外留学经历，主要研究方向为声学MEMS技术、声流控技术、MEMS器件的微纳加工制造、压电MEMS谐振器的生物传感应用等，在Angewandte Chemie International Edition, Small, Materials Horizons, ACS Applied Materials & Interfaces等领域内重要期刊发表多篇学术论文，担任Nanotechnology and Precision Engineering期刊青年编委。

• 王晓毅 预聘副教授

博士，博士生/硕士生导师，澳门太阳游戏城app预聘副教授，入选国家级高层次青年人才，曾任香港科技大学博士后。主要研究方向为微纳制造加工、 CMOS/MEMS 多传感器集成芯片研究、微纳惯性传感器、流速传感器、温湿度传感器、柔性传感器及其在机器人和精准理疗器械中的应用、微流控研究等，现发表文章30余篇，其中以第一作者或通讯作者身份发表国际知名SCI期刊论文9篇，多次在IEEE MEMS Conference、IEEE Transducers Conference等国际MEMS顶会上发表文章并作口头报告，曾获2020年IEEE MEMS优秀学生论文奖，并兼任IEEE Sensors Journal、Journal of Microelectromechanical Systems、IEEE Sensors Conference 2021的审稿人。

• 周文彪 讲师

博士，硕士生导师，台州学院产业兼职教授，浙江钱江机器人有限公司副总经理，曾任瑞典林雪平大学博士后，长期从事集成电路、机器视觉方向研究，主要研究方向为专用集成电路、专用处理器设计、实时计算、高速机器视觉等方面。现发表学术论文40余篇、专利20余项、软著15余项、参与多项国家标准制定。曾主持以及作为骨干完成国家科技部智能机器人重大专项、国家级基础科研、上海市工业互联网专项、浙江省重点研发计划，以及多项企业委托研发项目。

• 符荣鑫 预聘助理教授

博士，特别副研究员、助理教授，入选第九届中国科协青年人才托举工程项目。主要从事计算干涉光谱的非标记新型光学检测方法研究与医疗仪器开发担任Optics Letters, Optics Express, Microscopy and Microanalysis期刊审稿人；中国光学学会生物医学光子学分会青年委员。现发表学术论文十余篇，授权国家专利8项。

• 李航 预聘助理教授

博士，特别副研究员、助理教授、硕士生导师，主要研究领域包括基于微流控技术的质谱超灵敏检测方法、单细胞蛋白质组学与代谢组学、以及生物质谱的临床应用。目前，发表SCI论文13篇（其中第一作者/共同通讯作者10篇），著述专著2章，授权发明专利1项。作为项目负责人和主要参与者，主持国家自然科学基金青年项目，参与美国国家自然科学基金和国防高级研究计划（DARPA）等资助的多个项目。曾获得美国质谱协会Asilomar会议和质谱医药领域会议的青年科研工作者奖等。

二、研究方向

i2MEMS团队以“德以明理，学以精工”的澳门太阳游戏城app校训为指引，秉持立德树人的根本任务，理论发展与实践应用并行，致力于研究MEMS微纳传感器与执行器芯片设计与制造和微流控技术，以光学MEMS、声学MEMS、谐振MEMS、CMOS-MEMS集成为特色，强调电学、光学、热学、声学、材料学与生物学等多学科融合。

团队研究内容共分为四个方向：

方向一：器件（微型化MEMS器件设计与工艺）

方向二：芯片（MEMS传感芯片、微流控芯片、光电子芯片）

方向三：电路（模拟与数字IC设计）

方向四：系统（智能传感微系统、先进科学仪器）

团队致力于将器件、芯片、电路和系统四个方向紧密融合、相互支撑、以实现多功能集成微纳系统。集成微纳系统在智能感知、智能制造、精准医疗、无人驾驶、智慧环保、灵巧机器人、遥感遥测等国家重大战略领域有重要应用，具有极高的核心竞争力与应用价值。目前，i2MEMS团队依托多个重要平台开展研究，其中包括：澳门太阳游戏城app中关村校区实验室，澳门太阳游戏城app重庆微电子研究院，澳门太阳游戏城app良乡实训平台。

1）澳门太阳游戏城app中关村校区实验室：占地面积300 m2，划分为六大分区，包括生物光子区、声学区、测试表征区、湿法工艺区、电子组装区、细胞间。

2）澳门太阳游戏城app重庆微电子研究院：拥有9400 m2的科研办公楼，1000 m2的10万级洁净实验室以及1200 m2MEMS超净工艺线。重庆研究院团队构建了“柔性+专聘”的人才队伍，包含IEEE Fellow 1名，国家级高层次人才4名，国家级高层次青年人才8名，在站博士后研究人员5名，培养硕士研究生23人，博士研究生14人。

3）澳门太阳游戏城app良乡实训平台：是一个具有半导体器件和微纳器件的基本工艺制作和测试能力的实验平台，为集成电路及相关学科的本科生和研究生提供工艺实训、课程创新、大学生创新设计验证等机会，同时还可兼顾校内部分科研需求。整个实验平台包括工艺实验区（约260平米），其中千级约50平米，万级净化约175平米。

4）集成声光电微纳系统教育部工程中心：省部级研发平台和人才基地，聚焦于声光电微纳器件与集成微系统的全流程开发。

三、学术成果

• 研究所师生申请多项专利

目前，研究所拥有20项授权专利，有50余项受理中专利。

i2MEMS团队发表专利

• 研究所师生多次发表高水平论文

研究所师生取得的研究成果多次在SCI期刊、顶级会议上发表，包括Nature Communications、Science Advances、PNAS、JMEMS、Sensors & Actuators、Microsystems & Nanoengineering、IEEE Sensors Journal等，顶级会议包括IEEE MEMS conferences、IEEE Transducers conferences、MicroTas等。

i2MEMS团队发表学术论文

• 研究所师生对于创新创业竞赛有极高的热情

目前，研究所拥有国家级竞赛奖项 5 项，省部级竞赛奖项 7 项，校级奖项多项。

第十三届“挑战杯”全国大学生创业计划竞赛全国银奖

第八届全国大学生生命科学竞赛创新创业类一等奖

第十七届iCAN创新创业大赛全国总决赛一等奖

l 2021年海峡两岸大学生电子设计邀请赛一等奖

l 第十三届“挑战杯”全国大学生创业计划竞赛北京市金奖

l 第八届“互联网+“全国大学生创新创业大赛北京市银奖

l 第一届”京彩大创“北京大学生创新创业大赛北京市三等奖

l 第六届全国大学生集成电路创新创业大赛紫光同创杯华北赛区一等奖

l 第六届全国大学生集成电路创新创业大赛紫光同创杯全国总决赛三等奖

l 第八届“互联网+“全国大学生创新创业大赛澳门太阳游戏城app银奖

l 澳门太阳游戏城app第十九届"世纪杯"竞赛金奖

l “青春北理”年度榜样人物（团队）评选——青春榜样团队

l 太阳成集团tyc4633第一届创芯卓越奖

i2MEMS团队竞赛获奖

四、人才培养

i2MEMS团队具有稳定健全的运行机制，形成了一套科学完整的人才培养方案与团队合作模式。科研工作方面，i2MEMS团队以周总结为记录，季度报告为节点，形成了一套闭环的科研工作记录体系。团队内部以项目组为单位每周召开组会，总结上周工作进展，探讨研究方案难点，分享科研真知灼见，不仅有效地提升了学生的讲演能力与答辩能力，同时也极大地充实了学生的科研眼界。在每个季度结束之时，每位同学会用英文撰写季度报告，总结本季度自己的科研经历，梳理接下来的工作安排，不仅给学生一个机会整理归档自己的科研进度，而且有利于整理学生自己的科研思路，也锻炼了学生的英文写作水平，大大地提高了学生英文论文撰写的能力。

思想引领方面，i2MEMS团队用教育辅导与物质激励并行的方式，引领学生养成积极向上、奋勇争先的时代精神。团队导师会与学生定期展开思想交流，及时知晓每位学生的思想动向，帮助学生解决思想上的困扰。同时i2MEMS团队设立了“月度之星”奖项，每个月月初由学生投票、导师评选的方式来选出上个月的“科研月度之星”与“实验室贡献月度之星”，并予以一定的物质奖励。通过这种奖励优秀的方法，不仅能够在物质上给学生最直接的奖励，而且在精神上也会形成榜样作用，引导学生自觉自省，督促自我在科研工作上的进度，并积极融入实验室大家庭中，成为实验室中不可或缺的一份子。

学生自我成长方面，i2MEMS团队会定期组织学生参加相关学术培训与学术会议，提升学生的科研能力，扩展学生科研眼界。如2021年10月22~24日i2MEMS团队组织学生参加《第36期“见微知著”培训课程：微光学元件及应用》，由i2MEMS团队谢会开教授、无锡微奥科技有限公司副总经理王鹏博士等带来了MEMS微镜原理及应用的讲解，让学生们能够在短时间对微光学元件的原理、典型元件、制造方法及应用等不同方面有较深了解，从而帮助学生拓展思路，开阔视野。2023年，研究所共有6名硕士研究生毕业，并指导12名本科生完成毕业设计。

硕士毕业生：

l 张瑞浩同学荣获2023届澳门太阳游戏城app优秀毕业生称号

l 马一飞同学荣获澳门太阳游戏城app优秀硕士学位论文奖

本科毕业生：

l 潘炯同学荣获北京市优秀毕业生、澳门太阳游戏城app最高荣誉奖学金——徐特立奖学金等众多荣誉

l 白宸羽同学荣获澳门太阳游戏城app优秀毕业生称号

l 巩柯汝同学荣获澳门太阳游戏城app优秀毕业生设计称号

得益于科学的育人理念和高效的培养模式，团队师生在科学研究包括学术论文、专利发明、学科竞赛、学术交流等方面有较好的表现及成果，团队所培养的学生在就业和升学方面都具备较强的竞争力。

i2MEMS团队毕业的优秀同学

谢会开教授在“见微知著”培训会上做演讲

研究所师生赴日本京都参加IEEE Transducers Conference

五、团队建设

i2MEMS团队劳逸结合，重视体育锻炼，关心每一位学生的健康成长，引导学生德智体美劳全面发展。闲暇之余，i2MEMS团队导师与学生会共聚球场，挥洒汗水，强身健体，不仅增强了体魄，更是提高了团队凝聚力。团队也会定期组织丰富多彩的集体活动，如滑雪、登山等。这些活动丰富了学生的课余文化生活，增强了团队内部的交流，营造了健康向上的科研环境，使得团队保持着积极向上的朝气与活力。

六、联系方式

请扫码关注微信公众号：微电子与智能微系统研究

咨询邮箱：shuailong.zhang@bit.edu.cn

地址：澳门太阳游戏城app中关村校区4号教学楼130

欢迎感兴趣的同学联系加入i2MEMS团队！

BIT MEMS Day 学术交流活动

2022年秋，研究所师生们共同爬香山，赏秋景

2023年春，雁栖湖骑行

组内在举办丰富活动的同时，关心同学成长过程中的每一个重要时刻！